进军5nm 中微公司证实刻蚀机进入国际客户最先进生产线

4月6日,微公司董事长、总经理尹志尧透露,公司研发的等离子刻蚀设备已经进入客户的5nm生产线。尹志尧表示,公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线和先进封装生产线。

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source https://www.cnbeta.com/articles/tech/1111161.htm