用上EUV光刻机 SK海力士宣布明年量产第四代内存

ASML公司的EUV光刻机全球独一份,现在主要是用在7nm及以下的逻辑工艺上,台积电、三星用它生产CPU、GPU等芯片。马上内存芯片也要跟进了,SK海力士宣布明年底量产EUV工艺内存。据报道,SK海力士总裁李石熙日前表示,该公司计划将于明年下半年开始在利川厂区M16采用EUV光刻机生产第四代(1a nm)DRAM产品。

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